2022年3月期第3四半期の業績は、売上高93,445百万円（前年同期比40.1%増）、営業利益19,252百万円（同106.6%増）の大幅増収増益。

半導体製造装置部門では、サーバ・通信関連ロジックデバイス、メモリ半導体、パワー半導体、ディスプレイドライバIC向けおよびウェーハ増産向けなどを中心に需要が堅調で、中国からの需要も高水準を維持した。
売上高72,400百万円（前年同期比49.2%増）、営業利益16,629百万円（同102.6%増）の増収増益。
計測機器部門でも需要は回復傾向にあった。
売上高21,045百万円（同15.7%増）、営業利益2,623百万円（同136.3%増）の増収増益。

通期業績について会社は前回（11月2日）の見通しを据え置いている。